上海申弘閥門(mén)有限公司
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真空設(shè)備展覽
上海申弘閥門(mén)有限公司
在真空系統(tǒng)中，用來(lái)改變氣流方向，調(diào)節(jié)氣流量大小，切斷或接通管路的真空系統(tǒng)元件稱(chēng)為真空閥門(mén)。上海申弘閥門(mén)有限公司主營(yíng)閥門(mén)有：截止閥,電動(dòng)截止閥,氣動(dòng)截止閥,電動(dòng)蝶閥,氣動(dòng)蝶閥,電動(dòng)球閥,氣動(dòng)球閥,電動(dòng)閘閥,氣動(dòng)閘閥,電動(dòng)調(diào)節(jié)閥,氣動(dòng)調(diào)節(jié)閥，減壓閥。水力控制閥、真空閥門(mén)、襯膠閥門(mén)、襯氟閥門(mén)。
真空閥門(mén)在真空系統(tǒng)中的作用是：
(1)開(kāi)關(guān)氣路 如圖1所示，當(dāng)閥1和閥4關(guān)閉，閥2打開(kāi)時(shí)，機(jī)械真空泵Ⅲ對(duì)容器I抽真空，氣流流經(jīng)預(yù)真空抽氣管路；當(dāng)閥2關(guān)閉，閥4打開(kāi)時(shí)，機(jī)械泵可單獨(dú)對(duì)擴(kuò)散泵抽真 空；當(dāng)閥1和閥4同時(shí)打開(kāi)時(shí)，擴(kuò)散泵和機(jī)械泵可同時(shí)工作，對(duì)容器進(jìn)行抽空，此時(shí)氣流流經(jīng)擴(kuò)散泵。可見(jiàn)，閥門(mén)在這種操作中的作用是開(kāi)關(guān)氣路，改變氣流的流經(jīng) 路線。
(2)控制氣流大小，調(diào)節(jié)真空度在圖1中，調(diào)節(jié)閥1的閥蓋開(kāi)啟角度，即可調(diào)節(jié)流經(jīng)管路的氣流量大小；關(guān)閉閥2和閥4，通過(guò)放氣閥3可以給機(jī)械泵Ⅲ的入口放成大氣；通過(guò)放氣閥5可以調(diào)節(jié)容器內(nèi)的真空度。
(3)定量充氣如圖2所示，在玻璃閥的柱塞上有個(gè)一定體積的小洞，當(dāng)小洞轉(zhuǎn)向右邊和高壓氣瓶連通時(shí)，小洞中就可充滿(mǎn)高壓氣體；當(dāng)它轉(zhuǎn)向左邊和真空容器連通時(shí)，就把該體積的高壓氣體放進(jìn)容器中去，這樣就起到了定量充氣的作用。
真空閥門(mén)的種類(lèi)繁多，通常按閥門(mén)的職能、結(jié)構(gòu)型式、驅(qū)動(dòng)方式、材料和用途進(jìn)行分類(lèi)，其分類(lèi)見(jiàn)表1。
真空閥門(mén)的型號(hào)編制方法國(guó)家專(zhuān)業(yè)標(biāo)準(zhǔn)作了規(guī)定，可查閱有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)。
1. 真空獲得設(shè)備；旋片真空泵、油擴(kuò)散泵、羅茨真空泵、油增壓泵、渦輪分子泵、鈦升華泵；
2. 真空應(yīng)用設(shè)備：各種真空冶金設(shè)備與熱處理設(shè)備、真空電鍍?cè)O(shè)備、真空包裝設(shè)備等；
3. 真空鍍膜設(shè)備：包括各種靶、靶材、消耗材料及各種電源；真空鍍膜加工
4. 納米科技與裝備、納米材料與納米器件
5. 真空閥門(mén)及真空零部件：包括各種真空電子元器件、真空系統(tǒng)附件及真空動(dòng)、靜密封器件等；
6. 真空測(cè)量與校準(zhǔn)儀器、儀表及真空檢漏儀器；
7. 真空材料、真空泵油及真空工程配套設(shè)備；
8. 各種表面儀器（AES、SEM、XPS、SIMS等）及分子束外延設(shè)備（MBE）
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